HD 23596 b是一顆距離地球約170光年的太陽系外行星，
广西新闻网-广西日报杭州电（特派记者 钟文昌 玉智威）9月24日晚，由张博恒、邹敬园、肖若腾、林超攀、兰星宇组成的中国体操男队以262.025分的总成绩夺得杭州亚运会体操男子团体金牌，蝉联该项目冠军，广西籍运动员兰星宇因此拿到自己的第一块亚运金牌，也为广西健儿在杭州亚运会上获得首枚金牌。
9月24日，杭州亚运会竞技体操男子团体冠军中国队选手兰星宇、林超攀、张博恒、肖若腾、邹敬园（从左至右）在颁奖仪式上。新华社记者 程婷婷 摄
24日亚运会首个体操比赛日进行的是男子资格赛和团体决赛，资格赛成绩直接决定了团体赛成绩。中国队在第三场资格赛中亮相，第一个项目鞍马比赛中，张博恒、肖若腾都拿到了14分以上的成绩。
中国队在男子吊环上占据绝对优势，兰星宇、邹敬园、张博恒三人出战，成绩包揽前三。其中，兰星宇以全场最高难度分6.4分的成套动作，位列这个项目第一。在吊环项目上，中国队拿到44.466分，比排在第二的日本队高出2.967分。
中国队最后一个项目为自由体操，林超攀、肖若腾、张博恒先后上场。当张博恒以一套漂亮的动作完成比赛后，中国队队员们振臂欢呼，14.933分！团体总分262.025分已经超越日本队来到了得分榜榜首。队员们甚至已经拿出国旗开始庆祝胜利。在欢呼声中，兰星宇完成了个人最后一套动作，尽管有些瑕疵，但得分已不重要，中国队已将冠军收入囊中，成功卫冕！
“兰星宇助力国家队夺得男子体操团体金牌，为参加杭州亚运会比赛的广西健儿开了个好头。”当晚，在杭州黄龙体育中心体操馆，分管竞技体育的自治区体育局副局长魏鹤，观看了中国体操男队团体赛夺冠的全过程，并肯定了广西籍运动员兰星宇在此次比赛中的表现。
赛后，在评价自己的表现时，兰星宇的神情开始有些凝重，他直言不讳地说：“第一次参加综合性运动会，还是有压力的，我今天还是紧张了，在一些项目的表现上有瑕疵。”
9月28日，兰星宇将出战吊环决赛。作为近年来中国男子体操的吊环担当，他立志要拿出比这个夜晚更好的表现，“我会调整好心态，这几天把动作的细节跟规格再提升一下，相信会取得好成绩的”。
">在汉阴县退役军人服务中心，“光荣返乡、再启新程”“欢迎退伍老兵光荣返乡”等暖心标语格外醒目，一杯热茶、一句问候，让“最可爱的人”第一时间感受到家乡的温暖与尊崇。
汉阴县退役军人事务局严格落实“六个到位”“五个一”工作举措，通过线上平台发布报到须知、明确办事流程，安排专人答疑解惑，切实为退役士兵减负增效。在县退役军人服务中心报到现场，全面推行“一站式”服务，高效完成信息登记、档案接收、关系转接等业务办理，并同步开展优待政策宣讲，围绕就业创业、技能培训、学历提升、社保接续等内容精准解读、现场解惑,截至目前22名返乡士兵完成报到。
下一步，汉阴县退役军人事务局将精准对接退役士兵需求，持续深化服务举措，及时组织开展适应性培训等活动，全力护航退役士兵开启新的征程，为汉阴发展再立新功。
编辑：邱潮
编审：文婷 黄琪雅
终审：邹菲
">多元力量聚合力，打造“全功能”服务队伍
“睦邻先锋队”广纳贤才，社区工作者、党员志愿者、退休干部、全职妈妈等群体纷纷响应。截至目前，通过线上线下报名渠道，已吸纳队员35名，组建起3支特色小队。由党员水电工组成的“闪电维修组”，成立以来完成水电抢修6次、公共设施巡检9次；退休干部组成的“红马甲调解团”，成功化解邻里纠纷5起，调解成功率达100%；6名全职妈妈组成的“童心守护联盟”，开展课外辅导、亲子活动14场，服务儿童超120人次。
专业赋能强本领，提升服务“含金量”
为让服务更专业，先锋队建立分层培训体系，基础培训帮助队员快速熟悉社区居民的分布特点与文化习俗。专业培训则精准发力，为维修组开设水电技能提升课，邀请专业技师现场演示；为调解团解读《中华人民共和国民法典》邻里关系条款；为守护联盟培训儿童急救与心理疏导技巧。规范的工作机制让服务高效运转，居民可通过社区热线、微信群等渠道反馈需求，受理岗24小时内完成分类派单。家住定远县曲阳国际小区的居民陈龙反映楼道灯不亮，闪电维修组15分钟响应，30分钟修复，满意度评价达五星。此外，积分兑换机制激发持续动力，队员凭服务时长累计积分，可在辖区超市兑换生活用品，已有7名队员兑换了积分奖励。
共建共治聚民心，绘就社区治理“同心圆”
“睦邻先锋队”不仅解决问题，更拉近了邻里距离，退休教师杜黎明是调解团成员，她调解的不仅是纠纷，更是人心。居民张先生曾因楼上住户的空调外机正对着自家卧室窗台，生活备受影响，多次向物业和社区反映却无果。杜黎明得知后，一次次上门耐心协调，用真诚沟通架起桥梁，最终楼上住户主动同意移走外机，一场僵持许久的邻里矛盾迎刃而解。更暖心的是，经此一事，两家人从最初的隔阂生疏，变成了如今常来常往的朋友。从设施维修到矛盾化解，从儿童守护到邻里互助，这支队伍用行动诠释“远亲不如近邻”，让共建共治共享的理念落地生根，让幸福在邻里间悄然传递。（王建国）
">本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。
同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。
二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。
2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：
背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：
先进逻辑芯片制造
中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造（2024-2025 年）
外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
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